Accurion RSE光譜型參比橢偏儀

光譜型參比橢偏儀（RSE）, 設計用于質量控制中的高速厚度mapping。它可以精準測量0.1 nm至10µm的厚度。每秒記錄200個完整的光譜，可以在12分鐘內研究100mmx 100mm的區(qū)域，并同時獲得67000個光譜。
參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測

RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參考樣品和被測樣品進行比較，測量它們之間的差異從而對被測樣品進行橢偏分析。在測量過程中沒有任何需要轉動或者調制的光學部件，并且可以在單次測量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數(shù)據(jù)。通常可每秒采集200個光譜橢偏數(shù)據(jù)。通過配備同步的X/Y二維自動樣品臺可以在數(shù)分鐘內測量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。 由于參考補償系統(tǒng)仍然是橢偏儀原理，因此需要將測量數(shù)據(jù)擬合到光學模型，以獲得光學參數(shù)，如折射率和薄膜厚度。為了實現(xiàn)高速的數(shù)據(jù)處理速度，實現(xiàn)了查找表擬合。在測量之前，將計算一個查找表。然后可以實時且高分辨率地擬合測量數(shù)據(jù)。

主要功能：

• “單次"參比光譜橢偏測量

• 每秒200個全光譜橢偏數(shù)據(jù)

• 用于評估薄膜厚度的實時數(shù)據(jù)處理

• 光斑尺寸：50 x 100um（入射角=60°）的微光斑

• 薄膜厚度測量范圍：<1nm~10um

• 光譜范圍：450–900 nm

應用：

• 晶圓檢測

• 污染物檢測

• 超薄膜和中間層的厚度

• 透明基板上的薄層

  
  

  
  

參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測